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產品名稱: 超高分辨場發射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
產品型號:
產品時間: 2024-12-05
超高分辨場發射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數據獲取能力。

產品介紹

超高分辨場發射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

先進的自動化功能:EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設置放大倍率、移動樣品位置、調節焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后,該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現性好的圖像數據。

靈活的用戶界面:原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存,實現快速的多信號觀測與采集。1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示,可切換內容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。

超高分辨場發射掃描電子顯微鏡 SU8600系列


 

機型

SU8600

電子光學系統

二次電子像分辨率

0.6 nm@15 kV

0.7 nm@1 kV *

放大倍率

20 to 2,000,000   x

電子槍

冷場發射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統。

加速電壓

0.5 to 30 kV

著陸電壓 *

0.01 to 20 kV

探測器

(部分為選配項)

上探測器(UD)

UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能

下探測器(LD)

頂探測器(TD)

TD能量過濾器

鏡筒內背散射電子探測器(IMD)

半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED)

新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)

陰極熒光探測器(CLD)

掃描透射探測器(STEM Detector)

附件

(部分為選配項)

導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)

軟件

(部分為選配項)

EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素)

樣品臺

馬達驅動軸

5軸馬達驅動(X/Y/R/Z/T)

馬達驅動軸

X:0~110 mm

Y:0~110 mm

Z:1.5~40 mm

T:-5~70°

R:360°

樣品室

樣品尺寸

最大直徑:150 mm


 

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